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氮化錳的主要應用
來源:http://www.jinxufushi.com/news928499.html�(fā)布時間:2022/2/16 0:00:00
氮化�中間合金產品的研究對金屬錳深加工產業(yè)具有重要的現實意義及經濟價值。由于錳、氮的各種作�,在煉制高強度鋼、不銹鋼、耐熱鋼時需要同時加人錳、氮元素。以單質形式加入�、氮兩種元素�,存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺點。然�,以氮錳化合物形式加入時,不僅易于加�,并且錳、氮的利用率也高,因此研�氮化�的制備工藝有著重要意義,同時�氮化�制品市場前景遠大�
傳統(tǒng)的Mn基阻擋層主要通過PVD共沉積CuMn復合材料,然后使用熱退火處� 使Mn擴散至介質表面來實現。但是,在退火過程中,Cu與low-k(比如SiCOH)介質直接接�� 將會導致Cu在介質材料中擴散;而且形成的MnSixOy薄膜導電性較�,一般為絕緣�,會導致 RC延遲增加�
CN201810068633�4克服了傳�(tǒng)方法制備的Mn基阻擋層的不足,提出一種導電性良�,薄膜厚度精確可�,薄膜的組成和厚度均�,且可以在三維結構中實現均勻覆蓋的MnxNy薄膜(其中x和y分別代表Mn和N在薄膜中的相對原子比)制備方�,并且與目前集成電路后道 Cu互連技術相兼容,具有很好的市場應用前景�
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